제품소개

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반도체 장비 부품

진공 챔버 플랜지

반도체 식각·증착 장비용 진공 챔버 플랜지. 실링면 경면 가공.

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반도체 장비 부품

정전척 베이스 플레이트

정전척(ESC) 하부 냉각 유로가 포함된 베이스 플레이트. 평탄도 10μm 이내.

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반도체 장비 부품

웨이퍼 리프트 핀

웨이퍼 이송용 세라믹·금속 리프트 핀 및 홀더.