제품소개

자동차·반도체·유압 산업을 움직이는 한빛정밀의 정밀 부품

반도체 장비 부품

정전척 베이스 플레이트

정전척(ESC) 하부 냉각 유로가 포함된 베이스 플레이트. 평탄도 10μm 이내.

제품 사양

소재AL6061-T6
규격Ø300mm 웨이퍼 대응
품질 기준평탄도 0.01mm
공급 형태시제품 / 양산 (도면 기준 맞춤 제작)

고객 도면 기준으로 맞춤 제작합니다. 규격 외 사양은 문의해 주세요.

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